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筑波精工 株式会社

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企業情報

機械工業

筑波精工 株式会社

〒329-0617
栃木県河内郡上三川町大字上蒲字願生寺2168-10
TEL:0285-55-0081 FAX:0285-55-0768

会社の特徴

東京大学と共同研究を行った低電圧で高吸着力を発生する新しい静電チャックHPTSをご提供します。液晶、有機EL、無線EL、ウェハ、紙、フィルムなどを対象とした、これまでのメカチャックやバキュームチャックでは難しい、大型、薄物機材向け搬送、保持ステージ用静電チャックシステムです。

主要製品:静電チャック

仕事内容

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